►个人简介翟华，男，1973年3月出生，博士，教授，硕导。2003年合肥工业大学机械设计理论专业博士毕业。2004年-2005年日本东北大学机械智能系航空制造专业进修。19

►个人简介中国科学技术大学博士、博士后，日本上智大学访问学者，合肥工业大学教授，合肥市专业技术拔尖人才。合肥工业大学机械与汽车工程学院液压气动研究所所长、SMC合肥气动技术中心主任，机电工程

►个人简介俞建卫，研究员，硕士研究生导师摩擦学研究所副所长全国摩擦学测试技术专业委员会委员►研究领域机电一体化技术及产品摩擦学测试技术装备制造的信

►个人简介尹延国：博士，研究员，硕士研究生导师1990年于合肥工业大学获硕士学位，2006年获博士学位。从事摩擦学基础理论及应用的教学和科研工作，主要研究工作为机械摩擦学设计、摩

►个人简介1969年出生，湖北黄梅人，研究员，工学博士，硕士生导师。1987-1991，重庆大学矿业机械专业。2000-2003，华中科技大学工业工程专业，工程硕士。200

►个人简介王勇，博士，教授，博士生导师，硕士生导师。中国自动化学会机器人专业委员会委员，中国人工智能学会机器人专业委员会委员，中国仪器仪表学会传感器分会理事，九三学社会员。长期从事机械设计、

►个人简介王旭迪，男，1974年出生，博士研究生学历，教授，1996年合肥工业大学真空技术及设备专业本科，2005年中国科学技术大学国家同步辐射实验室工学博士。2005年-2006年英国卢瑟福国家实验室访问学者。已发表SCI、EI源刊论文三十余篇，申请发明专利10项。主讲课程：真空物理，微纳加工技术等。►研究领域科研方向：微纳加工技术及其应用，真空检漏与计量主持项目：国家863探索导向类项目，教育部留学基金，安徽省自然科学基金，企业项目等。►发表论文郑正龙;王旭迪;付绍军;聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征；真空科学与技术学报；2014-03-15涂吕星;王旭迪;逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道；真空科学与技术学报；2013-12-15李鑫;王旭迪;基于PDMS微结构模板转印技术的研究；真空科学与技术学报；2013-06-15JianJin,XudiWang,Nano/micro-channelfabricationbasedonSU-8usingsacrificialresistetchingmethod，Micro&NanoLetters 2012，71320LiangjinGe,XudiWang,HuoyaoChen，FlexiblesubwavelengthgratingsfabricatedbyreversalsoftUVnanoimprint，CHINESEOPTICSLETTERS10(9),090502(2012),LiangjinGe,L.JayGuo,XudiWang，Silverlineselectrodepatternedbytransferprinting,MicroelectronicEngineering97(2012)289–293XiaojunLi,XudiWang,etal,Fabricationofsize-controllablenanofluidicchannelsusingangledphysicalvapordeposition,MicroelectronicEngineeringvol.98October,2012.p.647-650Y.Zhang,X.Wang,Y.Xingetal.One-StepGrowthandAlignmentofUltralongNanowireArraysandTheirFlexiblePhotodetectorDevices.J.Mater.Chem.,2012,22,14357XiaojunLi,YongChen,KeqiangQiu,XudiWang,Multiplecentimetre-longfluidic-channelswithsmoothandverticalsidewallfabricatedbynovelNILmouldandthermalbonding,MicroelectronicEngineering98,(2012)720–724X.Wang,J.Jin,X.Lietal,Low-pressurethermalbonding,MicroelectronEng.88(2011)2427–2430X.Li,X.Wang,etal,Fabricationofmicro/nanofluidicsystemcombininghybridmask-mouldlithographywiththermalbonding,MicroelectronEng,87(2010),722-755X.Wang,L.Ge,J.Lu,S.Fu,ZCui.FabricationofEnclosedNanofluidicchannelsbyUVcuredimprintingandthermalbondingofSU-8Photoresist.MicroelectronEng.86(2009),1347-1349X.Wang,YifangChen,LingWangandZhengCui.FabricationofnanoimprinttemplateinSiwithhighetchratebynon-switchDRIEprocess.MicroelectronEng.85(2008),1015-1017X.Wang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.Free-standingSU-8subwavelengthgratingsfabricatedbyUVcuringimprint.MicroelectronEng.85(2008),910-913X.wang,Y.liu,X.Xu,S.Fu,ZCui.ReactiveionbeametchingofHfO2filmandremovalofsidewallofsidewallredeposition.J.Vac.Sci.Technol.A,24(4):1067-1072JUL-AUG2006XWang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.HighdensitypatternsfabricatedinSU-8byUVcuringnanoimprint；MicroelectronEng.,84(2007),872-876Xwang,LiangjinGe,JingjingLu,ShaojunFu,HighaspectratiogratingfabricationinSU-8resistbyUV-Curingnanoimprint,SPIE,Vol.7159,(2008)X.Wang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.RapidnanofabricationwithhighdensitypatternwithUVN30ChemicallyAmplifiedResist.SPIE,Vol.6724,67240A,(2007)X.Wang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.Free-standingSU-8gratingsfabricatedbysacrificiallayer-assistedUVcuringimprint.SPIE,Vol.6827,68271T,(2007)X.Wangetal,ReactiveionbeametchingofHfO2filmusingAr/CHF3gaschemistries,SPIE,5636,577(2005)ZCui,X.Wang,YLi,GYTian,Highsensitivemagneticallyactuatedmicromirrorsformagneticfieldmeasurement.SensorsandActuatorsA138(2007)145–150Chen,YF;X.Wang,etal,Nanometamaterialsandphotonicgratingsbynanoimprintandhotembossing,IEEEConference:InternationalSymposiumonBiophotonics,NanophotonicsandMetamaterials,Date:OCT16-18,2006HangzhouPRCHINAY.Chen,L.Zheng, X.Wangetal.Fabricationofferromagnetic nanoconstrictionsbyelectronbeamlithographyusingLOR/PMMAbilayertechnique.MicroelectronEng.,84(2007),1499-1502►联系方式电子邮箱：wxudi@hfut.e.cn

►个人简介王铁军，男，1957.11月生，1988.3毕业于北京理工大学，工学硕士。现任合肥工业大学机械学院制冷与空调技术研究所所长，教授，安徽省制冷学会常务副理事长，安徽省低温与制冷重点实

►个人简介博士、教授、博士生导师1984年毕业于安徽工学院，获学士学位;1987年毕业于吉林工业大学，获硕士学位;2002年毕业于合肥工业大学，获博士学位;1996.